セラミックス－窒化ほう素/炭化ほう素
BN成型品
概要
ボロンナイトライドは、絶縁特性、高熱伝導性、化学的安定性、機械加工性に優れ、半導体プロセス部材、電気炉部材、電子部品組立治具などに使用されています。
特長
六方晶の結晶構造を有し、白いカーボンとも呼ばれる材料です。高温での絶縁特性、高熱伝導度性、低熱膨張性など特異な性質を有することから、半導体プロセスなどの厳しい環境下で使用される材料として適しております。
用途
- 半導体製造装置の各種部品
- 金属、ガラス離型・耐食材料
- 電子部品組立治具
- 電気炉絶縁部材
- シリコン(Si)へのホウ素(B)ドーパント
詳細
- 「デンカ ボロンナイトライド成型体」グレード表
（PDF:91KB）
BN粉末
概要
六方晶窒化ほう素粉末（h-BN）は、黒鉛に似た燐片状結晶構造を有する白色粉末で、「白い黒鉛」とも呼ばれる化学的に安定な材料です。
特長
六方晶窒化ほう素粉末は、熱伝導性、耐熱性、耐食性、電気絶縁性、潤滑・離型性に優れた材料で、各種マトリックスへの添加材として使用されております。また、BNコーティング剤は、耐食性・離型性を利用し、各種金属・ガラスの耐熱離型材として使用されております。
用途
- 熱伝導性：各種放熱材料添加材など
- 離型性：金属、ガラス成型型塗布材など
- 耐食性：溶融金属保護コーティング材など
- 潤滑性：グリース、オイル添加材など
- 電気絶縁性：絶縁放熱材フィラー
- 耐熱性：高温潤滑添加材など
詳細
- 「デンカボロンナイトライド粉末 用例及び粒度分布」データ表（PDF:215KB）
炭化硼素成型品
概要
ダイヤモンドに次ぐ硬度を有し、耐摩耗材料として使用されています。また、その軽量性より精密機械の可動部品などへの適用も検討されております。
特長
軽量、高強度、低摩耗材料
用途
- サンドブラストノズル
- 耐摩耗部材
- 原子力用途
- 各種衝突板
- スパッタリングターゲット
炭化硼素粉末
概要
炭化ほう素粉末は、ダイアモンドに次ぐ硬さを有する極めて特徴のあるセラミックスです。当社では各種粒度の粉末から成型品まで販売しております。
特長
炭化ほう素粉末は、高硬度を有することから研磨材として、また、各種材料との反応性が高いことから焼結助剤、各種ほう化物製造原料として使用されております。その他、Bの同位体である10Bは熱中性子の吸収能力が高く、10B4Cは、原子炉の制御材、搬送容器の遮蔽材に使用されております。
用途
- 原子炉用制御材および遮蔽材
- Siウエハー切断用ワイヤーカット砥粒
- 宝石、セラミックスなどの研磨加工材
- 浸漬ノズル、不定形レンガなど炭素質材料の酸化防止材